基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真のように糸状にひっかいたようにロどうしてしまっている
今回の露銅は基板運搬時のラック収納に原因がありました。本件の場合基板を収納するラックは20pnl収納できる仕様であり、通常は基板1pnl置きに収納し基板同士間隔を空けて収納していましたが、増産体制の対応として、1ラックに20pnl収納するケースがありました。その結果、基板輸送時の振動で基板が接触し糸状の銅屑が発生し基板面へ移行し、当該症状に至る事が判明しました。
基板収納ラックの１パネル置き対応を徹底するために、以前は特定の工程だけに採用していましたが、20pnl収納する事を全工程で実施する事にし改善対策としました。特定の工程のみ対応をすると、作業員の入れ替えや工程の微変更の際に対応が甘くなるリスクもあることから全工程を通して安全な基準を設け、標準化していくことが全体として不良を低減させていくために有効です。
【事例083】露銅傷がある
