基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 基板表面に細かい異物のような汚れが見える
写真をみると、汚れの原因はレジストの補修です。このさい手袋に付着した微細なレジストがパッドについてしまい、それが原因で汚れとなりました。基板の修理については人為的な作業であり、修理箇所を直している間に他の不良を作ってしまうこともありますのえ細かい注意が必要です。
補修前には手袋をチェックするよう義務付けることが基本動作の徹底として必要です。基板の角はとがっているものも多く手袋がやぶれ、肌で直接触ってしまうことで不良となることもありますので、とくに傷のつきやすい指先が厚い手袋を着用することも補修時の不良リスクを低減する方法としては有効です。
【事例064】基板表面が汚れている
