基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- レジストの奥に異物が入ったようなあとが見える。
異物の現品を確認したところ、レジストインクの中に入り込んだ糸くずが異物の正体でした。糸くずは作業者の衣類に付着したものがクリーンルーム内で浮遊して、レジストインク、基材に付着して残ってしまったものと想定されます。例えば、クリーンルーム内の防護服を正しく着用できていない（襟を止めきれてていない、帽子のかぶりが浅い、等）できていない作業者がいるとこのような糸くずを発生させてしまいます。本件とは関係ありませんが、インクの塊がこの写真のように異物として見えることもあります。
クリーンルームは徹底した運用管理がセットで初めて意味のある設備となります。基本動作ですが、クリーンルーム内の埃、ゴミ対策の徹底はもちろん、着装の乱れからごみを持ちこまないようクリーンルーム内に於ける正しい服装の掲示を実施するとともに鏡を置いて服装て服装チェックが出来るようする必要があります。また、着装はクリーンルームに入るときに完璧であればいいというものではなく、作業によって着付けも少しずつずれることがあります。作業中に作業者同士でチェックするタイミングを意図的に設けるなど、衣服についてもきめ細やかな運用整理が必要です。
【事例041】レジストの内部に異物が混入している
