基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 基板表面になにかでこすったような傷がついている。
本件はレジスト塗布後の傷ととらえることができます。当該工程を分析すると、レジスト乾燥後にラックより基材を取り出して、運搬用ケースに収めているが、ラックから数枚まとめて引き抜いていた為に基板同士が接触をしてキズとなるか、ルータ加工後の基材取り出しに於いて、基板のまとめ作業を他の基板を台にして実施することによって切りくずなどがある上で叩いて実施していたために基板に傷を付けました。
原因となるような接触を避けるよう作業標準を明確化する必要があります。例えば、レジスト乾燥後にラックより基材を取り出す作業は1枚ずつ実施して、ケースのは保護シートと順番に重ねていくことを指導して作業の注記表示を実施する、あるいはルーター加工後の基板の揃えは、ルーター加工機の横に設置して、加工の切りくずを落とすと共に基板を揃えてから保管ケースに収めるようにすること対策として考えられます。
【事例039】基板表面に傷がある
