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基板FAQ ~なんかへんだぞこの基板~

【事例037】レジストがランドとずれている
レジストがランドとずれており、基材が一部見えてしまっている。

レジストがずれてしまう要因は、以下のように3つの要因がございます。
①基準穴の加工精度やドリルの加工に於いて位置のバラツキが起きてしまうこと。
②レジスト版の熱膨張精度、高温化で膨張してしまうこと。こちらについては版の素材、メーカーによって差がありまる。
③レジスト版の露光機への設定精度にぶれが生じてしまうこと。フィルムのは作業者が目視で確認をして固定する際の作業によるものです。
これらのずれの原因が複合的に合わさってレジストずれが発生することがあります。

原因の要因について各々対処する必要があります。
①NC加工に於けるどりるの精度については、重ねて穴をあける枚数を減らすことでブレを減らすことができます。例えば、4枚重ねを3枚重ねにすることで25%程度の改善効果があります。また、設計段階までさかのぼりますが、規準穴径のサイズを変更することも有効な方法の一つです。
②レジスト版については、熱膨張率の小さいものに変更することで対策とすることができます。
③レジスト版の設置精度は作業者の能力によるものであり、作業標準に沿った再教育を実施する必要があります。特に、センター合わせの追い込みについては丁寧な指導が必要です。

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