AllyJapan株式会社

基板FAQ ~なんかへんだぞこの基板~

【事例031】捨て基板部分が露銅している
捨て基板部分のレジストがはがれてしまい、露銅している

画像を見ると、レジスト工程後に発生した傷であることが分かります。本件は基板を重ねる作業の際に基板同士を接触させた事が原因でキズを付けたことが原因でした。

基板が基板を傷つけるケースは非常に多く、人為的に基板を触る局面は不良リスクがあると考えるべきです。そのため、プールフルーフの一環として、傷防止対策で基板間に仕切り板を挟む事を徹底する等の方法が有効です。また、外観検査工程でも、捨て基板に露銅傷が有る場合は修理対照基板と判定するという基準を明確にする必要があります。

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