基板ＦＡＱ　～なんかへんだぞこの基板～

【事例023】レジスト表面にゴミが付着している

以下のようにレジスト表面に銀色のごみが付着している。

付着した不純物が表面にあることから、レジスト塗布後乾燥段階までの間に付着したものだと分かります。今回のケースの場合、乾燥炉の中にあったゴミが乾燥時の温風に流されて表面に付着したことが原因です。

乾燥炉の中を清潔に保つことが必要です。清掃時は中だけでなく、外側も掃除しなければ異物混入リスクをたかめることになります。また、清掃のスパンを短くすることも対策方法の一つです。

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