基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- 写真の通り、基板表面のレジスト部分に糸状の銅のごみが付着している。
今回の屑は状況から、レジスト塗布後からインクが乾くまでの間に付着したものと分かります。銅くずは、基板を乾燥させるラックに入れるときにラックと基板がこすれて発生したものと想定されます。
ラックと基板が接触しないように配慮することはもちろんですが、ラックと基板の接触は不良の大きな原因の一つです。ラック自体を接触しても基板が傷つきにくいようにすることも対策として重要です。
【事例020】基板表面に銅のごみが付着している
