基板ＦＡＱ　～なんかへんだぞこの基板～

【事例017】基板のレジスト部分に気泡による浮きが出てしまっている

下図「１」の写真のように、基板表面に気泡ができ、レジストが浮いてしまっている。

「２」の写真のようにレジストを剥離した結果、こげ茶色の染みが確認でき、これは樹脂のコールタールであると想定されます。基材の乾燥工程において、通常は樹脂を気化させて排気するのですが、こちらが不十分で凝結物が派生し、これが基板に付着しました。この部分に熱をかけたことにより気泡が発生したのが本不良の発生経緯です。

乾燥工程において、排気量を大きくすることで発生を抑止することができます。また、オーブン末端鵜は温度が急激に下がり、凝結を誘発しやすくなってしまうため、末端部の温度を下げることで急激な温度差を回避することも対応策となります。

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