基板ＦＡＱ ～なんかへんだぞこの基板～
- レジスト後にパターンを見ると打痕があり傷がついているように見える。
レジスト自体はきれいについているため、レジストを施す前の工程で既にパターンに傷がついています。この場合、めっき工程でラックに基板をセットする作業員のミスで端面に傷がつく結果となり、その上部にレジストがかかることとなりました。
垂直めっきでは、冶具に基板を装着しますが、「両手で水平に」装着することが大事です。このような基本動作の徹底は、製造品質を高めるだけでなく、作業者の安全のためにも重要です。
【事例007】パターンに打痕が見える
